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本书对微纳机电系统与微纳传感器领域的主要技术进行了分类阐述,全面总结了技术的发展现状,客观分析了技术的发展态势,从学科的发展规律和研究特点出发,前瞻性地思考了技术的发展思路与发展方向,提出了我国发展该学科的资助机制与政策建议。
微纳机电系统与微纳传感器的战略地位
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基于微纳机电系统的光学传感器及光电子芯片技术
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基于微纳机电系统的谱学分析传感器技术
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基于微纳机电系统的生化传感器与微流控芯片技术
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基于微纳机电系统的医疗传感器技术
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前沿微纳机电系统技术
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